普樂(lè)斯從實(shí)踐中得出半導(dǎo)體行業(yè)銅支架經(jīng)過(guò)等離子清洗機(jī)處理后變色的原因
文章導(dǎo)讀:在昨天的文章中,普樂(lè)斯向大家介紹了半導(dǎo)體銅支架經(jīng)過(guò)等離子清洗機(jī)處理后會(huì)出現(xiàn)變色和變黑的兩個(gè)因素,其實(shí)普樂(lè)斯在實(shí)踐中還得出了另外一個(gè)因素-等離子清洗機(jī)電場(chǎng)的分布對(duì)銅支架清洗效果和變色的影響。
在昨天的文章中,普樂(lè)斯向大家介紹了半導(dǎo)體銅支架經(jīng)過(guò)等離子清洗機(jī)處理后會(huì)出現(xiàn)變色和變黑的兩個(gè)因素,其實(shí)普樂(lè)斯在實(shí)踐中還得出了另外一個(gè)因素-等離子清洗機(jī)電場(chǎng)的分布對(duì)銅支架清洗效果和變色的影響。
等離子清洗機(jī)的等離子電場(chǎng)分布關(guān)聯(lián)因素包括電極結(jié)構(gòu)、氣體流向和銅支架的擺放位置等相關(guān)。不同處理材料、工藝需要以及產(chǎn)能要求,對(duì)電極結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)是不一樣的;因此氣體流向會(huì)形成一個(gè)氣場(chǎng),對(duì)等離子體的運(yùn)動(dòng)、反應(yīng)、均勻性都會(huì)有影響;銅支架的擺放位置,會(huì)影響到電場(chǎng)和氣場(chǎng)特性,導(dǎo)致能量分配不均衡,局部等離子密度過(guò)大而燒板。

除了昨天與今天提到的幾個(gè)因素外,實(shí)踐證明了等離子清洗機(jī)的處理時(shí)間、電源頻率、包括載具類型等都會(huì)對(duì)銅支架的處理效果和變色也是有影響的。
如此看來(lái),等離子清洗機(jī)處理半導(dǎo)體銅支架引起變色的原因其實(shí)沒(méi)有這么簡(jiǎn)單,必須要去做深入的研究和長(zhǎng)期的實(shí)踐,平衡各種因素可能會(huì)造成的后果,有針對(duì)性的去解決這些問(wèn)題。

更多詳細(xì)內(nèi)容普樂(lè)斯陸續(xù)會(huì)在之后文章中再與大家進(jìn)行交流。
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