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等離子清洗機處理晶粒

返回列表 來源:普樂斯 瀏覽: 發(fā)布日期:2023-09-13 09:15【
文章導讀:等離子清洗機是通過利用高壓電場產生的等離子體來實現(xiàn)表面處理的。在這個過程中,等離子體中的正負離子和電子相互碰撞,產生大量的熱能和活化能。這些能量可以破壞晶粒表面的污染物和雜質,使其分解成更小的顆粒。同時,等離子體中的氧分子也可以將晶粒表面的氧化層去除,從而提高晶粒的表面質量。
在半導體行業(yè)中,等離子清洗機被用于清除晶粒表面的污染物和雜質,從而提高晶粒的質量和性能。
什么是晶粒?
晶粒是一種材料內部結構的細微變化,通常出現(xiàn)在晶體材料中。當材料受到外力作用時,原子或分子的排列會發(fā)生變化,形成一些微小的結構,這些結構就是晶粒。晶粒的形成對材料的性質有很大的影響例如,晶粒的形狀和大小會影響材料的強度和韌性。例如,晶粒的形狀和大小可以影響材料的抗拉強度和延展性。此外,晶粒的形成也可以影響材料的熱穩(wěn)定性和電導率等性質。
半導體
等離子清洗機處理晶粒的原理
等離子清洗機是通過利用高壓電場產生的等離子體來實現(xiàn)表面處理的。在這個過程中,等離子體中的正負離子和電子相互碰撞,產生大量的熱能和活化能。這些能量可以破壞晶粒表面的污染物和雜質,使其分解成更小的顆粒。同時,等離子體中的氧分子也可以將晶粒表面的氧化層去除,從而提高晶粒的表面質量。
等離子清洗機
等離子清洗機對晶粒質量的影響
1. 晶粒尺寸
等離子清洗機可以改變材料表面的電場強度,從而影響晶粒的生長速度。在一定范圍內,隨著電場強度的增加,晶粒尺寸逐漸減小。等離子體清洗機產生的高頻電場可以破壞晶界的化學鍵,使晶粒長大,從而達到細化晶粒的目的。
2. 形狀
等離子體清洗機產生的等離子體具有很高的能量密度,可以使物體表面的污染物分解或脫附。在這個過程中,晶粒形狀會發(fā)生改變。一般情況下,經(jīng)過等離子體清洗后,晶粒形狀變得更加規(guī)整,且分布更加均勻。
等離子清洗機
3. 表面形貌
經(jīng)過等離子清洗機處理后,晶粒表面的粗糙度降低,使其表面更加光滑。這樣可以增強晶粒之間的結合力,提高晶粒的穩(wěn)定性和可靠性。

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