蘇州晶方半導(dǎo)體科技股份有限公司
文章導(dǎo)讀:晶圓片級芯片規(guī)模封裝(Wafer Level Chip Scale Packaging,簡稱WLCSP),即先在整片晶圓上進行封裝和測試,然后才切割成IC顆粒,封裝后的體積等同IC裸晶的原尺寸。等離子清洗已成為WLCSP制程中的必須工藝!
2005年6月, 蘇州晶方半導(dǎo)體科技股份有限公司(SSE:603005)成立于蘇州,是一家致力于開發(fā)與創(chuàng)新新技術(shù),為客戶提供可靠的,小型化,高性能和高性價比的半導(dǎo)體封裝量產(chǎn)服務(wù)商。晶方科技的CMOS影像傳感器晶圓級封裝技術(shù),徹底改變了封裝的世界,使高性能,小型化的手機相機模塊成為可能。這一價值已經(jīng)使之成為有史以來應(yīng)用最廣泛的封裝技術(shù),現(xiàn)今已有近50%的影像傳感器芯片可使用此技術(shù),大量應(yīng)用于智能電話,平板電腦,可穿戴電子等各類電子產(chǎn)品。公司及子公司Optiz Inc.(位于Palo Alto,加州)將持續(xù)專注于技術(shù)創(chuàng)新。
普樂斯與晶方半導(dǎo)體的合作始于2011年,至今已經(jīng)有7年!雙方的合作是基于晶方半導(dǎo)體國產(chǎn)化的需求,同時對普樂斯等離子技術(shù)實力的認可。通過雙方溝通,普樂斯了解到以下一些情況:
1、晶方半導(dǎo)體使用等離子清洗設(shè)備的主要目的:晶圓表面particle去除;焊錫球前焊盤的清洗,增加植球前的推力;硅片玻璃光刻膠去除和微刻蝕,以增加滾膠前結(jié)合力等。
2、晶方半導(dǎo)體已有幾臺進口等離子清洗設(shè)備,包括美國和韓國等離子清洗設(shè)備,運行比較穩(wěn)定,但是由于通過等離子設(shè)備代理商購買,所以維護保養(yǎng)費用高而服務(wù)比較滯后。
3、根據(jù)晶方半導(dǎo)體產(chǎn)品的特點和產(chǎn)能需求,常規(guī)設(shè)備滿足不了要求,需特殊設(shè)置和定制,而國外等離子清洗設(shè)備廠家顯然難以配合。
事實上,普樂斯之前很少接觸半導(dǎo)體行業(yè),大多數(shù)小伙伴連晶圓和芯片都分不清楚,更不用說對工藝流程、處理參數(shù)和效果判定等的了解!勇于創(chuàng)新是普樂斯的特點,全力配合晶方半導(dǎo)體研制新型等離子清洗設(shè)備是普樂斯義不容辭的責(zé)任和榮幸。
普樂斯做了兩件事:一方面,提供樣機給晶方半導(dǎo)體做測試,抓參數(shù),學(xué)工藝;另一方面,分析產(chǎn)品特點和處理要求,與晶方半導(dǎo)體相關(guān)人員隨時互動,無論是電極設(shè)計、材料選型,還是人機界面的優(yōu)化,都虛心聽取意見,不斷優(yōu)化等離子清洗機解決方案。因此,普樂斯學(xué)到了不少專業(yè)知識,少走許多彎路,對半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)備的要求有了基本認識,例如:
1、Particle的預(yù)防和去除。無論什么級別的潔凈室,都會存在particle,是造成產(chǎn)品缺陷的主要原因之一。等離子清洗設(shè)備在處理腔室、電極、配件等材料選擇,托架和電極結(jié)構(gòu)等設(shè)計,維護保養(yǎng)的要求,方方面面都必須考慮盡可能避免產(chǎn)生新的particle。
2、等離子均勻性。氣路、電極結(jié)構(gòu)、托架樣式、工藝參數(shù)等會影響產(chǎn)品處理的一致性。
3、設(shè)備穩(wěn)定性。半導(dǎo)體產(chǎn)品的產(chǎn)能和附加值都很高,對設(shè)備的UPH(單位小時產(chǎn)能)指標非??粗亍TO(shè)備配置的選型和兼容,甚至軟件的程序的編寫,都會影響穩(wěn)定性。
經(jīng)過大家兩個多月的共同努力,晶方半導(dǎo)體定制的等離子清洗設(shè)備終于成功交付,等離子處理效果完全可以滿足產(chǎn)品和工藝的要求!相關(guān)樣品處理后效果測試舉例:
1、硅片處理水滴角變化
2、玻璃處理水滴角變化
對于晶方半導(dǎo)體當初的選擇,普樂斯一直心存感激;尤其是晶方半導(dǎo)體幾位高層能給普樂斯試錯機會的魄力,普樂斯向您們致敬!普樂斯會不斷學(xué)習(xí)半導(dǎo)體知識,了解行業(yè)動態(tài),利用所掌握的等離子技術(shù)接合客戶需求,研制出更多符合半導(dǎo)體行業(yè)特點的等離子清洗設(shè)備,提供更好的服務(wù)給與回饋!
親,如果您對等離子清洗機感興趣或者想了解更多詳細信息,歡迎點擊普樂斯的在線客服進行咨詢,或者直接撥打全國統(tǒng)一服務(wù)熱線400-816-9009,普樂斯恭候您的來電!
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普樂斯與晶方半導(dǎo)體的合作始于2011年,至今已經(jīng)有7年!雙方的合作是基于晶方半導(dǎo)體國產(chǎn)化的需求,同時對普樂斯等離子技術(shù)實力的認可。通過雙方溝通,普樂斯了解到以下一些情況:
1、晶方半導(dǎo)體使用等離子清洗設(shè)備的主要目的:晶圓表面particle去除;焊錫球前焊盤的清洗,增加植球前的推力;硅片玻璃光刻膠去除和微刻蝕,以增加滾膠前結(jié)合力等。
2、晶方半導(dǎo)體已有幾臺進口等離子清洗設(shè)備,包括美國和韓國等離子清洗設(shè)備,運行比較穩(wěn)定,但是由于通過等離子設(shè)備代理商購買,所以維護保養(yǎng)費用高而服務(wù)比較滯后。
3、根據(jù)晶方半導(dǎo)體產(chǎn)品的特點和產(chǎn)能需求,常規(guī)設(shè)備滿足不了要求,需特殊設(shè)置和定制,而國外等離子清洗設(shè)備廠家顯然難以配合。
事實上,普樂斯之前很少接觸半導(dǎo)體行業(yè),大多數(shù)小伙伴連晶圓和芯片都分不清楚,更不用說對工藝流程、處理參數(shù)和效果判定等的了解!勇于創(chuàng)新是普樂斯的特點,全力配合晶方半導(dǎo)體研制新型等離子清洗設(shè)備是普樂斯義不容辭的責(zé)任和榮幸。
普樂斯做了兩件事:一方面,提供樣機給晶方半導(dǎo)體做測試,抓參數(shù),學(xué)工藝;另一方面,分析產(chǎn)品特點和處理要求,與晶方半導(dǎo)體相關(guān)人員隨時互動,無論是電極設(shè)計、材料選型,還是人機界面的優(yōu)化,都虛心聽取意見,不斷優(yōu)化等離子清洗機解決方案。因此,普樂斯學(xué)到了不少專業(yè)知識,少走許多彎路,對半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)備的要求有了基本認識,例如:
1、Particle的預(yù)防和去除。無論什么級別的潔凈室,都會存在particle,是造成產(chǎn)品缺陷的主要原因之一。等離子清洗設(shè)備在處理腔室、電極、配件等材料選擇,托架和電極結(jié)構(gòu)等設(shè)計,維護保養(yǎng)的要求,方方面面都必須考慮盡可能避免產(chǎn)生新的particle。
2、等離子均勻性。氣路、電極結(jié)構(gòu)、托架樣式、工藝參數(shù)等會影響產(chǎn)品處理的一致性。
3、設(shè)備穩(wěn)定性。半導(dǎo)體產(chǎn)品的產(chǎn)能和附加值都很高,對設(shè)備的UPH(單位小時產(chǎn)能)指標非??粗亍TO(shè)備配置的選型和兼容,甚至軟件的程序的編寫,都會影響穩(wěn)定性。
經(jīng)過大家兩個多月的共同努力,晶方半導(dǎo)體定制的等離子清洗設(shè)備終于成功交付,等離子處理效果完全可以滿足產(chǎn)品和工藝的要求!相關(guān)樣品處理后效果測試舉例:
1、硅片處理水滴角變化
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等離子處理前52.76℃ | 等離子處理后3.62℃ |
2、玻璃處理水滴角變化
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等離子處理前25.38℃ | 等離子處理前4.41℃ |
對于晶方半導(dǎo)體當初的選擇,普樂斯一直心存感激;尤其是晶方半導(dǎo)體幾位高層能給普樂斯試錯機會的魄力,普樂斯向您們致敬!普樂斯會不斷學(xué)習(xí)半導(dǎo)體知識,了解行業(yè)動態(tài),利用所掌握的等離子技術(shù)接合客戶需求,研制出更多符合半導(dǎo)體行業(yè)特點的等離子清洗設(shè)備,提供更好的服務(wù)給與回饋!
親,如果您對等離子清洗機感興趣或者想了解更多詳細信息,歡迎點擊普樂斯的在線客服進行咨詢,或者直接撥打全國統(tǒng)一服務(wù)熱線400-816-9009,普樂斯恭候您的來電!
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